1、主要特点

• 数字化系统协同设计、MEMS工艺制造

• SiO₂层绝缘隔离扩散硅敏感电桥

• 特殊功能结构和材料

• 适应高宽工作温度范围

• 适应与硅、玻璃兼容的介质环境

• 表压、绝压、差压类型齐全

  
  

• 覆盖低、中、高宽压力量程范围

• 小型化尺度适应发动机、风洞绝缘气、液体动态压力的“原位”或“亚原位”测

2 、主要性能技术指标

序号	项目	规格指标					备注
1	特殊种类	耐高温冲击	耐腐蚀	探针型		扁平型
2	压力类型	表压、绝压、		差压
	基准压力量程	100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa、40MPa、60MPa、100MPa、		100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa			1*
	量程过载能力	≥2倍基准量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基准量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基准量程（≥60MPa）					2*
3	桥路电阻	1～3kΩ				3～5kΩ
5	零点输出	≤ ±5mV					3*
6	满量程输出	＞50 mV（典型值）					3*
7	准确度	≤ ±0.25%FS （典型值）± 0.5%FS（最大值）					3*、4*
8	灵敏度对称性	≤ ±0.3%FS（差压）					4*
	固有频率	＞100kHz	＞10kHz	＞150kHz
9	工作温度范围	-55℃～+540℃	-55℃～+180℃	-55℃～+235℃		-55℃～+273℃	5*、1*
10	热零点漂移	≤ 1.5%FS/55℃					5*、6*
11	热灵敏度漂移	≤1.5%F.S /55℃					5*、6*
12	短期稳定性	≤±0.03%FS/8h					3*
13	长期稳定	＜±0.1%FS/年
14	激励电源	恒流1～1.5mA,或恒压5V～10V
15	电气连接形式	4缆线
16	典型接口尺寸	M5×0.8（mm）	≤Φ20（mm）		≤Φ2（mm）	≤2 ×2、≤Φ3（mm）	7*、1*

 注：1^*. 可用户定制；                             2^*. 100MPa量程过载为本量程上限；

        3^*. 5VDC恒压激励，恒温25℃；     4^*. 非线性算法为最小二乘法；                    

             5^*.外无源补偿后的热漂移;                 6^*. 55℃温区为-30～25℃或25～80℃；

注：可提供定制服务，如有需求请与营销人员联系。